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表面粗糙度的光学测量方法 ,具有非接触、精度高和响应快等优点 ,致使其研究十分引人注目 ,发展极快。本文简单介绍了几种典型的光学测量原理和方法及一些已商品化的仪器
表面粗糙度的光学测量方法
【摘 要】
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表面粗糙度的光学测量方法 ,具有非接触、精度高和响应快等优点 ,致使其研究十分引人注目 ,发展极快。本文简单介绍了几种典型的光学测量原理和方法及一些已商品化的仪器
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所
【出 处】
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航空计测技术
【发表日期】
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2000年02期
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