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着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
微机电系统的科学研究与技术开发
【摘 要】
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着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
【机 构】
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清华大学;
【出 处】
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清华大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国防预研项目
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