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采用化学气相沉积法制备聚氯代对二甲苯（PPXC）膜，并对其在氩气和空气2种气氛中进行退火处理，研究退火前后PPXC膜的微观结构、拉伸强度及水汽渗透率变化。结果表明，PPXC膜在2种气氛下恒温退火，聚合物的结构变化存在2个过程，结晶完善过程与降解过程，在大气中氧的存在增大了降解程度。PPXC膜的拉伸强度随退火时间先增大、后减小，而水汽渗透速率则随退火时间先减小、后增大。且在氩气气氛中，PPXC膜所达到的力学性能、水汽阻隔性能更佳。