应用等离子体离子辅助技术沉积的锗基底红外减反射膜

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红外光学系统大多数均采用锗作为透镜和窗口的材料,由于其折射率高达4.0,引起的反射损失较大,降低了红外光能量的透过率和红外成像系统的能力。为了减少锗表面的反射损失,我们研制了高性能的红外减反射膜,使锗透镜的红外透射率高达98% 以上。通过等离子体离子辅助沉积技术的应用,获得了耐久性能优异的红外减反射膜,满足了杜瓦瓶封接钎焊工艺对窗口膜层的苛求,也满足了红外热像仪系统对膜层的要求,而且所有膜层均无放射性 Most of the infrared optical systems use germanium as a material for lenses and windows, which have a large reflection loss due to their refractive index up to 4.0, reducing the transmittance of infrared light energy and the ability of the infrared imaging system. In order to reduce the reflection loss on the germanium surface, we have developed a high-performance infrared anti-reflection coating that allows the germanium lens to have an infrared transmittance of over 98%. Through the application of plasma ion assisted deposition technology, the infrared anti-reflection film with excellent durability is obtained, which meets the demanding requirements of the window film of the Dewar flask sealing brazing process and meets the requirements of the infrared camera system for the film layer Requirements, and all the film is not radioactive
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