Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜的制备及特性研究

• 作 者: 王培英 王欣宇 刘梅冬 饶韫华 曾亦可
• 机 构: 华中理工大学固体电子学系!武汉,430074,华中理工大学固体电子学系!武汉,430074,华中理工大学固体电子学系!武汉,430074,华中理工大学固体电子学系!武汉,430074,华中理工大学固体
• 出 处: 功能材料
• 发表日期: 1998年05期
• 关键词: Ba x)Sr_xTiO_3 溶胶-凝胶 电滞回线 BST簿膜 溶胶一凝胶 钙钛矿结构 铁电相 声学器件 热释电探测器

用溶胶-凝胶方法制备Ba1-xSrxTiO3（BST）薄膜材料，研究薄膜的结构和电性能。用XDR及SEM分析了沉积在硅片上的BST薄膜的结构，测试了在空温下BST薄膜的电滞回线及介电特性。

Ba1-xSrxTiO3 (BST) thin films were prepared by sol-gel method to study the structure and electrical properties of thin films. The structure of BST deposited on silicon wafers was analyzed by XDR and SEM. The hysteresis loop and dielectric properties of BST thin films were tested at room temperature.