【摘 要】
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所谓半导体集成电路,就是把在一个或一个以上的半导体衬底上制作的电路元件相互连接的电路。半导体衬底现在基本上是采用硅。此外也有用锗和以砷化镓为代表的Ⅲ—Ⅴ族金属间
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所谓半导体集成电路,就是把在一个或一个以上的半导体衬底上制作的电路元件相互连接的电路。半导体衬底现在基本上是采用硅。此外也有用锗和以砷化镓为代表的Ⅲ—Ⅴ族金属间化合物作衬底的。在衬底上,通过扩散、外延生长、光刻、介质生长和氧化等芯片工艺制作晶体管,二极管和电阻,用pn结或介质把器件之间进行隔离。把衬底表面用介质覆盖以
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