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使用电子显微镜研究了550℃,6h离子渗氮的35CrMo钢渗层的组织形貌和界面结构,结果表明,渗层外为分层相间分布的ε+γ′条带状组织。在化合物内层的γ′相中有空位盘,位错,层错四面体和孪晶。ε相和γ′相之界面光滑且平直,除了观察到一个原子呈层结构台阶,也发现多个原子层高度的中阶。大量晶体缺陷的存在是回速离子渗氮过程的主要原因。