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【摘 要】
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本文采用双靶（ZnSb靶和Ge2Sb2Te5靶）共溅射制备了系列ZnSb掺杂的Ge2Sb2Te5（GST）薄膜.利用X射线衍射、透射电子显微镜、原位等温/变温电阻测量、X射线光电子能谱等测试研究了薄膜
【机 构】
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宁波大学高等技术研究院,宁波大学信息科学与工程学院
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2015年17期
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：61377061,61306147）, 浙江省公益技术研究工业项目（批准号：2014C31146）, 浙江省中青年学科带头人学术攀登项目（批准号：pd2013092）, 宁波大学王宽诚幸福基金资助, 浙江省自然科学基金（批准号：LQ15F040002）资助的课题
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