【摘 要】
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本文叙述了用示踪法研究表面活性剂对硅片表面上金属元素的清洗效果.
This article describes the use of tracer method to study the effect of surfactants on the clean
【机 构】
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上海原子核研究所,上海原子核研究所,上海原子核研究所,上海无线电七厂
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本文叙述了用示踪法研究表面活性剂对硅片表面上金属元素的清洗效果.
This article describes the use of tracer method to study the effect of surfactants on the cleaning of metal elements on the surface of silicon wafers.
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