无衬底铁靶的制备

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本文介绍用真空蒸发制备厚度为1μm左右的无衬底铁靶的方法。 一、引言 无衬底铁靶是为核物理实验~(56)Fe(p,n)~(56)Co反应而制备的。在这个靶的制备过程中,我们采用了氯化钠作脱膜剂、不锈钢片作衬底和氧化铝坩埚作蒸发器的真空镀膜技术,成功地制备了厚度为1μm左右的无衬底铁靶。 This paper describes a method for preparing a substrateless iron target with a thickness of about 1μm by vacuum evaporation. I. INTRODUCTION The substrateless iron target is prepared for the nuclear physics experiment ~ (56) Fe (p, n) ~ (56) Co. In the preparation of this target, we used a vacuum coating technology of sodium chloride as a release agent, a stainless steel sheet as a substrate and an alumina crucible as an evaporator, successfully prepared a substrateless iron target with a thickness of about 1μm .
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