半导体材料中载流子浓度的自动电化学测量

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chren1981
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本文简述了自动半导体载流子浓度剖面描绘仪的原理及实际应用。 This article briefly describes the principle and practical application of automatic semiconductor carrier concentration profile tracer.
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