气敏半导体元件的温度效应

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氧缺位的二氧化锡显示了n型半导体的性质[1],对微量有毒、有害、易爆气体十分敏感,由此制成的气敏半导体元件为检出这些气体提供了新的途径[2-5].目前此种元件的稳定性还很不理想.元件的工作温度对气敏元件的灵敏度、稳定性和选择性等都有极大影响,但温度的变化规律迄今未见仔 Oxygen vacancies of tin dioxide shows the nature of the n-type semiconductor [1], is very sensitive to trace amounts of toxic, harmful and explosive gases, and the gas-sensing semiconductor devices thus prepared provide a new way to detect these gases [ 2-5]. At present, the stability of such components is still not ideal.The operating temperature of the components have a great influence on the sensitivity, stability and selectivity of the gas sensors, but the law of the temperature has not seen so far
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