【摘 要】
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本文提出了一种简易的制备MgO靶的方法,并对其二次电子发射特性进行了大量的实验研究。测得的二次发射系数高达12。并用扫描电子显微镜观测了该薄膜表面形貌及对结构成份作了
【机 构】
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云南大学物理系,云南大学物理系,云南大学物理系
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本文提出了一种简易的制备MgO靶的方法,并对其二次电子发射特性进行了大量的实验研究。测得的二次发射系数高达12。并用扫描电子显微镜观测了该薄膜表面形貌及对结构成份作了初步分析。所有这些实验数据对有关工作有一定实际参考价值。
In this paper, a simple method for preparing MgO target is proposed, and a large number of experimental studies on its secondary electron emission properties have been carried out. The measured secondary emission coefficient of up to 12. The surface morphology of the film was observed with a scanning electron microscope and the composition of the film was analyzed. All these experimental data have certain practical reference value for the work.
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