【摘 要】
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用于半导体制造的超纯不锈钢的开发日本住友金属工业公司开发了一种用于半导体制造工艺中提供气体的超纯净不锈钢管。这种纯化的３１６Ｌ不锈钢，命名为“Ｓｕ－ｍｉｃｌｅａｎｎｌ”，其制造工艺为：在真空感应炉中
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用于半导体制造的超纯不锈钢的开发日本住友金属工业公司开发了一种用于半导体制造工艺中提供气体的超纯净不锈钢管。这种纯化的３１６Ｌ不锈钢，命名为“Ｓｕ－ｍｉｃｌｅａｎｎｌ”，其制造工艺为：在真空感应炉中冶炼，然后真空自耗炉重熔。该钢的特点，是导致形成非金...
Ultra-pure stainless steel for semiconductor manufacturing Japan’s Sumitomo Metal Industries has developed an ultrapure stainless steel tube for gas supply in semiconductor manufacturing processes. This purified 316L stainless steel, named “Su-micleannl”, is manufactured by smelting in a vacuum induction furnace followed by remelting in a vacuum consumable furnace. The characteristics of the steel is caused by the formation of non-gold ...
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