【摘 要】
：
Along with the extension of optical lithography to 28nm node and beyond, several effects that can be neglected in previous technology nodes become more and more
【机 构】
：
School of Microelectronics, University of Chinese Academy of Sciences (UCAS), Beijing 100084, China“
论文部分内容阅读
Along with the extension of optical lithography to 28nm node and beyond, several effects that can be neglected in previous technology nodes become more and more prominent. One of the most striking effects is the 3D mask effect where the mask transmittance and phase are influenced by the mask topography. This study started with Kirchhoff mask model based experiment of 28nm node SRAM cell features based on Attenuated Phase-shift mask (Att. PSM), which were calibrated into Optical proximity correction (OPC) process models. A 28nm test model was constructed with Kirchhoff mask modeling approach. Once the standard Kirchhoff effects were working on the test wafer, the 3D mask effects were included for the same data. Then the interactive relations among these mask data were investigated and found to generate as much as 15nm edge shift differences. The mask model was then refit including the 3D mask effect and compared with the Kirchhoff mask model in the simulator to better understand the impact of 3D mask effect on patts.
其他文献
摘 要：电力营销组作为电力企业提供电力服务的一项重要工作，做好电力营销工作对电力企业的发展有着至关重要的作用。而用电检查作为电力营销工作中的一个重要环节，做好电力营销用电检查是为了更好地防止窃电行为的发生，进而维护供电企业的合法权利，保证电力系统正常运行。本文就电力营销用电检查中的问题及对策进行了相关的分析。 关键词：电力营销；用电检查；问题；对策 0 引言 电作为一种重要的能源，随着我国现
本研究主要在针对我国的建筑行业的安全管理现象进行综合分析的基础上，对施工安全管理的相关理论概念、主要特点、管理的目标、管理的必要性、原则以及内容等都进行了阐述。同
摘 要：近年来，随着科学技术的迅速发展，数控技术水平也得到了不断提高。薄壁零件具有节省原材料、重量轻、结构紧凑等特点，是一种高精度零件。目前，我国薄壁零件的应用范围越来越广，各行各业对其需求量也越来越多，从而给数铣加工薄壁零件工艺提出了更高的要求。本篇论文主要分析并探讨数铣加工薄壁零件的工艺设计。 关键词：数铣；加工；薄壁零件；工艺设计 随着数控技术的迅速发展与进步，数控机床受到了科技界与工业
摘 要：清洁机械行星减速机是一种常用的清洁设备，对运转噪音和异响要求特别高。我司在长期的生产实践中，摸索了改善行星减速机噪音的各项因素，并使用数学处理工具进行优化。通过实施改进措施，较大地提高了合格率，保证了产品质量。 关键词：清洁机械；减速机；噪音 1 问题的提出 小型清洁机械的单刷式刷盘电机，使用的是行星式齿轮减速机。由于该行星式齿轮减速机多用于宾馆、酒店等高档消费场所，消费者对此类机械
本研究目的是给TBT SMART SHK SRL-D公司所属的“weRomania”品牌绘制清晰的发展路径。它也可作为一个操作界线和蓝图，使我们集中精力，保持公司的发展。该公司将开发两种类型的
南京葫芦洞石笋末次冰期气候记录闻名于世,但至今葫芦洞未见全新世石笋,且缺失现代碳酸盐沉积,这个问题多次被同行提起。通过与同一气候条件下现代沉积作用旺盛的安徽蓬莱仙
摘 要：本文主要对电喷发动机进行故障分析，阐述电喷发动机在运行中经常出现的问题，在此基础上，提出有效的解决方法。 关键词：汽车；电喷发动机；故障；诊断 我国很多高档的轿车也是采用电喷发动机。电喷发动机的优势是不言而喻的，但是，其制造中运用的原件比较多，所以也比较复杂，在维修中存在一定的困难，需要对故障进行诊断，进行有针对性的维修。 1 常见故障分析 电喷发动机在使用的过程中会出现各类零部件
节能已成为国际社会关注的焦点。我国作为一个负责任的大国,更是狠下功夫,在对各省节能减排任务的安排上加大了力度。广东省作为一个能耗大省,节能任务更重。与此同时,广东省
摘 要：在所有的地铁施工工作中，地铁机电设备安装发挥着非常重要的作用，安装质量影响着地铁的正常运行。所以，一定要采取科学的质量控制方法有效控制机电设备的安装。该文介绍了地铁机电设备安装现场质量控制的相关内容，然后有针对性的提出了具体的质量控制对策，希望能够提升地铁机电设备安装工作质量。 关键词：地铁；机电设备安装；施工现场；质量控制 地铁工程是一项复杂的工程，涉及的知识面也较为广泛，既包含了一
本文对OvenItt Pancake商业计划书进行了的研究。《OvenItt DIY Pancake》商业计划是一个关于销售新型煎饼的甜品点心商业计划。这个商业计划(论点)旨在研究新兴品牌甜品生意