【摘 要】
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本文针对用常规制版工艺制作细线条为1μm光刻版的主要难点,通过定性的理论分析,确定出实验方案。经过反复实验,在現有设备条件下,为3DG460微波低噪声晶体管的研制提供了合格
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本文针对用常规制版工艺制作细线条为1μm光刻版的主要难点,通过定性的理论分析,确定出实验方案。经过反复实验,在現有设备条件下,为3DG460微波低噪声晶体管的研制提供了合格光刻版。
In this paper, the conventional platemaking process for the production of fine lines of 1μm lithography version of the main difficulties, through qualitative theoretical analysis to determine the experimental program. After repeated experiments, in the existing equipment conditions, for the development of 3DG460 microwave low noise transistors provided a qualified lithography.
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