【摘 要】
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针对5G毫米波无线通信的发展需求,采用硅基单层基片集成波导(SIW)结构设计了一款毫米波滤波器.首先通过理论分析,计算得到滤波器的结构参数.然后使用电磁仿真软件HFSS对滤波器结构进行仿真与优化,使其满足设计指标要求.设计得到了一个五阶毫米波滤波器,其通带范围24.25～27.5 GHz,相对带宽12.56％,中心频率处插入损耗小于1 dB,带内回波损耗优于-16 dB.最后,使用MEMS工艺将该滤波器加工成实物并进行性能测试,得到尺寸为9.45 mm×4.8 mm×0.4 mm的滤波器芯片,达到小型化要
【机 构】
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重庆邮电大学通信与信息工程学院,重庆400065;总装备部重庆军事代表局驻成都地区军事代表室,成都610065
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针对5G毫米波无线通信的发展需求,采用硅基单层基片集成波导(SIW)结构设计了一款毫米波滤波器.首先通过理论分析,计算得到滤波器的结构参数.然后使用电磁仿真软件HFSS对滤波器结构进行仿真与优化,使其满足设计指标要求.设计得到了一个五阶毫米波滤波器,其通带范围24.25～27.5 GHz,相对带宽12.56％,中心频率处插入损耗小于1 dB,带内回波损耗优于-16 dB.最后,使用MEMS工艺将该滤波器加工成实物并进行性能测试,得到尺寸为9.45 mm×4.8 mm×0.4 mm的滤波器芯片,达到小型化要求.测试结果表明,MEMS毫米波滤波器的仿真结果与测试结果基本保持一致.
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