【摘 要】
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采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷．使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20％．用此法制得的金刚石晶形较好．实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大．
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【机 构】
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中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷．使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20％．用此法制得的金刚石晶形较好．实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大．
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