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提出了新抛光硅片镜面吸附物吸附动力学过程和优先吸附数学模型及吸附物吸附状态控制机理。
硅单晶片镜面吸附物吸附状态的研究
【摘 要】
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提出了新抛光硅片镜面吸附物吸附动力学过程和优先吸附数学模型及吸附物吸附状态控制机理。
【机 构】
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河北工业大学,北京石化工程公司
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1999年2期
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