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采用化学沉淀法（在RuCl3溶液中滴加NaOH）制备非晶态水合氧化钌，用去离子水对非晶态水合氧化钌沉淀充分洗涤，获得了Na、Cl杂质含量不同、而非晶态结构、水含量和显微相貌都相同的两种氧化钌样品．X射线光电子能谱分析表明，样品中的Na和Cl杂质分别以水合Na^＋、水合Cl^-的形式存在．去离子水充分洗涤5次的样品（W_5）与不充分洗涤1次的样品（W_1）相比，前者的Na^＋、Cl^-杂质含量低．循环伏安测试表明，W_5的比电容和功率性能都优于W_1，Na^＋、Cl^-杂质不仅降低了氧化钌的比电容，也降低了