【摘 要】
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本文介绍了测定光栅盘直径误差的几种方法,论述了用对称联系法检测高精度光栅盘直径误差时应注意的问题,检定间隔和固定角的选取,这种方法不需要标准信号,精度亦较高。此方法
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,
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本文介绍了测定光栅盘直径误差的几种方法,论述了用对称联系法检测高精度光栅盘直径误差时应注意的问题,检定间隔和固定角的选取,这种方法不需要标准信号,精度亦较高。此方法经1980年全国光栅盘评比检测组审查,被采用作为该次光栅盘评比的检测方法。
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