10~(—11)帕极高真空技术成果通过鉴定

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兰州物理研究所进行的这项技术研究,在金属极高真空系统上获得、测量以及微电流技术采取了相应的措施,解决了真空系统的结构设计、加工工艺、微漏检测以及运行规范等一系列技术问题,成功地在;φ400×500毫米的容器中用液氮流程稳定地获得了3.3×10~(-13)托 This technology research conducted by Lanzhou Institute of Physics has taken corresponding measures in the acquisition, measurement and micro-current technology of extremely high vacuum metal systems to solve the structural design, processing technology, micro-leakage detection and operation specifications of vacuum system, etc. Series of technical problems, successfully in; φ400 × 500 mm container with liquid nitrogen stable process obtained 3.3 × 10 ~ (-13) Torr
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