射频高能离子注入装置

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiekc
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据日本《电子材料》杂志1990年第2期报道,日本岛津制作所已研制成射频加速器——RFQ高能离子注入装置.这种装置为研制新一代半导体器件——三维立体结构器件提供有力的手段. According to Japan’s “Electronic Materials” magazine in 1990 No. 2 reported that Japan’s Shimadzu has developed a radio frequency accelerator RFQ high-energy ion implantation device.This device for the development of a new generation of semiconductor devices - three-dimensional structure of the device to provide a strong means.
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