【摘 要】
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通过显微镜放大、ＣＣＤ图像接收采集、计算机数据处理技术来测量自聚焦透镜（ＧＲＩＮ透镜）光斑直径、分辨率。重点对误差进行分析。通过对样品５２０－０２５－０８３的测试，表明该系统光斑直径、分辨率测试不确定度
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通过显微镜放大、ＣＣＤ图像接收采集、计算机数据处理技术来测量自聚焦透镜（ＧＲＩＮ透镜）光斑直径、分辨率。重点对误差进行分析。通过对样品５２０－０２５－０８３的测试，表明该系统光斑直径、分辨率测试不确定度优于±０．１μｍ及１％，与误差分析相吻合。
Through the microscope, CCD image acquisition, computer data processing technology to measure the self-focusing lens (GRIN lens) spot diameter, resolution. Focus on the error analysis. The test of sample 520-025-083 shows that the system’s spot diameter and resolution test uncertainty is better than ± 0.1μm and 1%, which is consistent with error analysis.
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