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介绍了石英摆片中工制造过程中若干工艺问题的研究结果。讨论了用传统加工方法和特种加工方法可能产生的表面缺陷和残余应力。通过对石英摆片材料性质，结构特点和加工机理的分析和研究。提出了保证摆片尺寸和形状精度，表面完整性，强度，使用寿命和可靠性的措施。
石英摆片加工过程中若干问题的研究
【摘 要】
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介绍了石英摆片中工制造过程中若干工艺问题的研究结果。讨论了用传统加工方法和特种加工方法可能产生的表面缺陷和残余应力。通过对石英摆片材料性质，结构特点和加工机理的分
【机 构】
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哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨工业大学机械工程系副教授
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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1993年6期
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