【摘 要】
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SOI是“Silicon-on-insulator”的简称,中文译为“绝缘体上的硅”。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,无论在低压、低功耗电路、耐高温电路、微
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SOI是“Silicon-on-insulator”的简称,中文译为“绝缘体上的硅”。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,无论在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成
SOI is short for “Silicon-on-insulator”, Chinese is translated as “silicon on insulator”. Internationally recognized, SOI is one of the 21st century new microelectronics technology and a new generation of silicon-based materials, both in low voltage, low power circuits, high temperature circuits, micro-mechanical sensors, optical integration
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