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本文综述了超精密测量技术的发展，介绍了作者研制的具有纳米级测量精度的非接触光探针扫描外差干涉仪，其分辨率为１ｎｍ，量程１０μｍ。
纳米光学测量技术
【摘 要】
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本文综述了超精密测量技术的发展，介绍了作者研制的具有纳米级测量精度的非接触光探针扫描外差干涉仪，其分辨率为１ｎｍ，量程１０μｍ。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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