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脉冲调制射频容性耦合SiH/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断

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【摘要】

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本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltzmann斜率

【作者】

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张娇张鹏云

【机构】

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大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室,辽宁大连,116024

【出处】

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真空

【发表日期】

：

2011年3期

【关键词】

：

脉冲调制发射光谱诊断电子激发温度

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本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltzmann斜率法计算了电子激发温度,研究了占空比、调制频率、功率及气压等对电子激发温度和谱线相对强度的影响.

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