光刻机投影物镜的像差原位检测新技术

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【摘要】

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提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术.详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引

【作者】

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张冬青王向朝施伟杰王帆

【机构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室,上海,201800中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室,上海,201800;

【出处】

：

光学学报

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

信息光学像差投影物镜光刻机原位检测

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提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术.详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法.实验结果表明AMF技术可实现球差、彗差、像散等像差参量的精确测量.AMF技术考虑了光刻胶等工艺因素对像差引起的成像位置偏移量的影响,有效避免了目前基于硅片曝光方式的彗差原位检测技术对离焦量、像面倾斜等像质参量限制的依赖.

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