热处理对Pt-PtRh13薄膜热电偶绝缘层性能的影响及机理分析

• 作 者: 张建国 颜秀文
• 机 构: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
• 出 处: 航空发动机
• 发表日期: 2015年4期
• 关键词: 薄膜热电偶 Pt-PtRh13 离子束溅射 热处理 温度稳定性 航空发动机 thin-film thermocouple Pt-PtRh13 ion b

为了测量航空发动机高温部件表面温度,利用离子束溅射镀膜技术制备了拥有多层薄膜结构的Pt-PtRh13薄膜热电偶,包括Ni基合金基底、Ni Cr Al Y黏结层、Al2O3过渡层、Al2O3绝缘层、Pt/Pt Rh13薄膜热电偶和Al2O3保护层。研究了热处理对Pt-PtRh13薄膜热电偶绝缘层性能的影响,并利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射分析（XRD）等手段对薄膜热电偶绝缘层性能下降的机理进行了分析。研究结果表明：利用Al2O3绝缘薄膜开发的Pt-PtRh13薄膜热电偶只用于900℃以下测温,在9