偏振不灵敏硅基二氧化硅阵列波导光栅设计

• 作 者: 安俊明 李健 郜定山 夏君磊 李建光 王红杰 胡雄伟
• 机 构: 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2004年11期
• 关键词: 硅基二氧化硅 阵列波导光栅 应力 双折射 偏振相关波长 数值分析 silica on siliconarrayed waveguide gratingstres
• 基金项目: 国家重点基础研究发展规划 (批准号 :G2 0 0 0 0 3 660 2 ),,国家高技术研究发展计划(批准号 :2 0 0 2 AA3 12 2 60 ),,国家自然科学基金 (批准号 :6988970 1)资助项目~~

以深刻蚀和热氧化工艺为基础，提出了一种新的阵列波导光栅(AWG)制备技术．这一工艺可使AWG中的波导侧向留有一硅层，采用有限元法和有限差分束传播法分别计算了存在这一硅层时的波导应力分布和有效折射率，结果表明由于这一侧向硅层的存在，使AWG中波导在水平和垂直方向的应力趋于一致，AWG的偏振相关波长明显减小．