【摘 要】
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Surface Technology Systems plc（STS）宣布其新产品“Pegasus”的全新离子反应式深硅刻蚀机。Pegasus延续STS一直引以为傲的Advance Silicon Etch （ASE）制程技术。此制程技术植基
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Surface Technology Systems plc（STS）宣布其新产品“Pegasus”的全新离子反应式深硅刻蚀机。Pegasus延续STS一直引以为傲的Advance Silicon Etch （ASE）制程技术。此制程技术植基于Bosch制程，加以开发改良，配合以硬件上的设计发送，务期使能在硅刻蚀上达到每分钟大于25μm的刻蚀速度。配合以绝佳的刻蚀外型控制及大幅提升光罩的选择比。
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