【摘 要】
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采用溶胶-凝胶匀胶法制备锆钛酸铅铁电薄膜,研究了前驱体影响因素（如有机溶剂、前驱单体加入顺序、添加剂）、溶胶影响因素（如溶胶浓度、p H值）、匀胶速度和退火温度对成膜质量及
【机 构】
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重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆科技学院纳微复合材料与器件重庆市重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(51102288,51372283);重庆市教委科学技术研究项目(KJ131402);重庆科技学院博士教授科研启动基金(CK2013B08)
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采用溶胶-凝胶匀胶法制备锆钛酸铅铁电薄膜,研究了前驱体影响因素（如有机溶剂、前驱单体加入顺序、添加剂）、溶胶影响因素（如溶胶浓度、p H值）、匀胶速度和退火温度对成膜质量及薄膜微结构、铁电性的影响。结果表明：采用乙二醇甲醚为溶剂对Pb2＋、Zr4＋和Ti4＋金属盐进行溶解优于乙醇和乙二醇,但由于乙二醇甲醚对硝酸锆的溶解性差,对硝酸锆应先用乙醇溶解再加入乙二醇甲醚的方法来进行溶解;以硝酸锆为Zr源配制溶胶时,只有先将Pb前驱液滴加到Ti前驱液中,然后再滴入Zr前驱液的方式才能得到澄清前驱体。将锆钛酸铅溶胶浓
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