【摘 要】
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一概述工艺检测模块（PCM）或工艺评估器件（PED）是半导体工艺的检测图形，它能充分反映IC产品工程的关键参数和工艺制造线的加工水平，与自动化半导体参数测试系统相结合，可以迅速得到测
【机 构】
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一概述工艺检测模块（PCM）或工艺评估器件（PED）是半导体工艺的检测图形，它能充分反映IC产品工程的关键参数和工艺制造线的加工水平，与自动化半导体参数测试系统相结合，可以迅速得到测量结果，并对测试数据进行多种统计分析，给出统计分析结果（如：Wafer－map、控制图、
An Overview The Process Detection Module (PCM) or Process Evaluation Device (PED) is a test pattern of a semiconductor process that adequately reflects the key parameters of the IC product engineering and the process level of the process line. Combined with an automated semiconductor parametric test system, Quickly get the measurement results, and a variety of statistical analysis of test data, given the statistical analysis results (such as: Wafer-map, control charts,
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