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【摘 要】
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自七十年代以来,电子工业的发展异常迅速,这与其主要的基础材料—半导体硅单晶制备技术的日益提高紧密相关。当前,硅单晶产量的四分之三以上是用直拉法生产的,主要用于各种
【机 构】
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洛阳单晶硅厂,有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1983年06期
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