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本文介绍几种常用的声学显微镜的结构和它们在无损检测精细陶瓷的材料特性、缺陷特性以及电子元件内部缺陷方面的应用。
用声学显微镜无损检测精细陶瓷材料及元件
【摘 要】
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本文介绍几种常用的声学显微镜的结构和它们在无损检测精细陶瓷的材料特性、缺陷特性以及电子元件内部缺陷方面的应用。
【机 构】
：
机械电子工业部第二十六研究所
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
1990年1期
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