抗共振反射集成光学传感器的研究进展

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抗共振反射光波导(ARROW)具有与传统光波导所不同的传播特性。利用覆盖层的抗共振反射性质,ARROW传播单模、高阶模被泄漏到基体。基于折射率的变化,抗共振反射传感器对物理量、化学量和生物分子间的相互作用有很高的敏感性。介绍了ARROW的结构、传感器的工作原理以及最新研究进展。由于可采用CMOS工艺制作波导,且能与光探测器在一块集成,抗共振反射传感器将具有广阔的应用前景。 Anti-resonant reflected optical waveguide (ARROW) has a different propagation characteristics than conventional optical waveguides. Utilizing the anti-resonant reflective nature of the overburden, ARROW propagates single-mode, high-order modes that are leaked to the substrate. Based on changes in refractive index, anti-resonant reflectance sensors have high sensitivity to physical, chemical, and biomolecular interactions. The structure of ARROW, the working principle of the sensor and the latest research progress are introduced. Since the waveguide can be fabricated by the CMOS process and integrated with the photodetector, the anti-resonance reflection sensor will have broad application prospects.
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