【摘 要】
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从离子源中引出束的能散度,是源的一个重要性能指标,因为能散度将影响束的发射度和束的聚焦质量等,尤其在采用后减速得到低能(几十至几百eV)离子束的情况下,离子束的能散度
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从离子源中引出束的能散度,是源的一个重要性能指标,因为能散度将影响束的发射度和束的聚焦质量等,尤其在采用后减速得到低能(几十至几百eV)离子束的情况下,离子束的能散度对其轨迹及沉积能量的影响就更为严重了。弗瑞曼(Freeman)型离子源能够提供强流的重离子束,在低能离子束机上得到日益广泛的应用,因而有必要测定这种源
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