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人造金刚石低压气相生长的热力学研究
人造金刚石低压气相生长的热力学研究
来源 :自然科学进展:国家重点实验室通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangpin1
【摘 要】
:
用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在CH4/H2和C2H2/O2气相体系中的生长,计算了不同压力下这两种体系生长金刚石的相图,与用经典的平稳热力学理论计算的相图不同,得到的相图都有金刚石生长区。
【作 者】
:
张卫
万永中
【机 构】
:
复旦大学电子工程系
【出 处】
:
自然科学进展:国家重点实验室通讯
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
化学气相淀积
低压
气相生长
人造金刚石
热力学
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在CH4/H2和C2H2/O2气相体系中的生长,计算了不同压力下这两种体系生长金刚石的相图,与用经典的平稳热力学理论计算的相图不同,得到的相图都有金刚石生长区。
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