ZnS溅射功率对Cu2ZnSnS4薄膜附着性及太阳电池性能的影响

• 作 者: 王璐 郭杰 郝瑞亭 顾康 刘斌 王远方舟 孙帅辉
• 机 构: 云南师范大学,云南师范大学能源与环境科学学院
• 出 处: 材料导报
• 发表日期: 2019年S02期
• 关键词: 铜锌锡硫 硫化锌 应力 附着性 Cu2ZnSnS4ZnSstressadhesive property
• 基金项目: 国家自然科学基金(61774130,11474248,61176127,61006085),云南省应用基础研究计划(2017FD069)

采用不同ZnS溅射功率,在钠钙玻璃(SLG)衬底上依次溅射Mo、ZnS、SnS及Cu,退火后制备出Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了溅射功率(50~140W)对ZnS薄膜和CZTS薄膜的微观形貌、微结构以及附着性的影响。结果表明,不同功率溅射的ZnS薄膜为(008)择优取向的纤锌矿六方晶系结构;功率较低时,ZnS薄膜结晶质量较差;随着功率从50 W增加到140 W,ZnS薄膜内的压应力增加了一个数量级;ZnS溅射功率低于80 W或高于110 W时,退火后的CZTS薄膜发生龟裂甚至脱落;ZnS溅射功