【摘 要】
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我所根据某单位的需要,研制了一台四极专用射频镀膜机。其主要技术标指如下: l、钟罩尺寸——450mm; 2、极限真空度—— 5 × 10-6乇; 3、工作真空度—— 1× 10-3～ 2× 10-2
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我所根据某单位的需要,研制了一台四极专用射频镀膜机。其主要技术标指如下: l、钟罩尺寸——450mm; 2、极限真空度—— 5 × 10-6乇; 3、工作真空度—— 1× 10-3～ 2× 10-2乇;4、充入气体——一种或两种;5、频率——10MC;6、功率——12KVA; 7、靶极电压——≤3000V; 8、热
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