【摘 要】
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一、引言 射频质谱计是测量真空系统中混合气体成分及含量的工具,因此也可以作为真空计使用。 自从1950年Bennett发明了第一个射频质谱计起,到现今有许多人进行了研究工作,
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一、引言 射频质谱计是测量真空系统中混合气体成分及含量的工具,因此也可以作为真空计使用。 自从1950年Bennett发明了第一个射频质谱计起,到现今有许多人进行了研究工作,发表了很多文章。目前,从射频质谱计分析器的结构看,基本上有三种类型:一种是带有漂移空间的Bennett型射频质谱计,它是三个等距栅作为一级,典型结构是带有两个漂移空间、三级等距栅构成;另一种是无漂移空间的等距棚型射频质谱计,它是由
I. INTRODUCTION RF mass spectrometer is a tool to measure the composition and content of mixed gas in vacuum system, so it can also be used as a vacuum gauge. Since Bennett invented the first radio frequency mass spectrometer in 1950, many people have done research and published many articles so far. At present, there are basically three types of structures from the structure of a radio frequency mass spectrometer analyzer. One is a Bennett type radio frequency mass spectrometer with a drift space, which has three isosceles grids as a level and a typical structure has two Drift space, three-level equidistant grid composition; the other is a drift-free space isometric shed radio frequency spectrometer, it is by
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9月12日至13日,由宁波杭州湾新区经发局主办、宁波能信节能环保科技有限公司承办的宁波杭州湾新区能管员培训在奉化银凤山庄举行,杭州湾新区四十余家企业共43名能管员参加了
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