【摘 要】
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精缩制版物镜是集成电路掩膜制版工艺的关键元部件。随着集成电路向大规模、超大规模方向发展,将对芯片面积、线宽尺寸提出越来越高的要求。浙江大学工程光学仪器系研制了一
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精缩制版物镜是集成电路掩膜制版工艺的关键元部件。随着集成电路向大规模、超大规模方向发展,将对芯片面积、线宽尺寸提出越来越高的要求。浙江大学工程光学仪器系研制了一种M1/10大视场、高分辨率精缩制版物镜,其主要光学参数经鉴定,认为全视场实测目
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