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本文以TFT 制程过程中SiO2薄膜平坦度的改善为背景,研究了SiO2制程条件对其平坦度的影响。实验过程中针对成膜参数power,成膜压力,电极间间距及各气体流量进行调整,来测试其对成膜平坦度的影响。从而找到各参数与SiO2成膜平坦度的关系,优化成膜工艺。
TFT 制程中 SiO2 成膜条件与其平坦度关系的研究
【摘 要】
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本文以TFT 制程过程中SiO2薄膜平坦度的改善为背景,研究了SiO2制程条件对其平坦度的影响。实验过程中针对成膜参数power,成膜压力,电极间间距及各气体流量进行调整,来测试其
【机 构】
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南京中电熊猫平板显示科技有限公司
【出 处】
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信息周刊
【发表日期】
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2018年19期
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