【摘 要】
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一、概述在半导体生产工艺中,生瓷烧结需要在温度高达1750℃的钼丝炉中进行。钼丝炉的特点是温度高(可达1800℃),功率大(几十瓩),其控温系统一般都是采用手动调节SCR 输出功
【机 构】
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电子工业部十三研究所,电子工业部十三研究所
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一、概述在半导体生产工艺中,生瓷烧结需要在温度高达1750℃的钼丝炉中进行。钼丝炉的特点是温度高(可达1800℃),功率大(几十瓩),其控温系统一般都是采用手动调节SCR 输出功率的方法。由于加热元件钼丝的电阻值随温度的改变而变化相当大(如我们使用的这台炉子在20℃时,电阻值是0.017Ω,而在1750℃时电阻值是1.5Ω),所以为了控制温度和保护设备,
First, an overview In the semiconductor manufacturing process, the raw porcelain sintering needs in the molybdenum wire furnace temperature up to 1750 ℃. Molybdenum wire furnace is characterized by high temperature (up to 1800 ℃), power (tens of 瓩), the temperature control system are generally used manually adjust the SCR output power method. As the heating element molybdenum wire resistance changes with the temperature changes quite large (such as we use the stove at 20 ℃, the resistance is 0.017Ω, while the resistance at 1750 ℃ resistance is 1.5Ω), so in order to control Temperature and protection equipment,
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世界上许多的发明创造常常源于对本是司空见惯了的事物有了疑问之后,可以说疑问是一个人产生探究心理的原动力。也只有在具备了问题的前提条件下,才有可能产生寻求探究解决的办法。因此,在语文教学中如何激励诱导学生学会在看似平凡无奇的地方设疑,是培养学生的问题意识的发端。 例1:在分析《祝福》小说中祥林嫂的形象时,我没有遵循以往的教法,侧重分析人物言行等以透视人物形象。而是试探性地要求学生在祥林嫂的称呼上做
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本文给出了文[1]关于线性二次型状态反馈(LQSF)的一个结果的推广。证明了对于所有α≥1的系数,若u=-Kx是一个LQ控制律,则u=-αKx也是一个LQ控制律。
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