【摘 要】
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介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±１级衍射波会合，由于有光程差而发生光拍频，测量拍频信号的相位移则可测得光栅的位移。设计了一种克
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介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±１级衍射波会合，由于有光程差而发生光拍频，测量拍频信号的相位移则可测得光栅的位移。设计了一种克服激光波长漂移和空气折射率变化影响的对称差动光路，使这种方法达到实用化的程度，分辨力达到纳米级。此外，还介绍了应用于接触干涉仪的实验情况。
A kind of diffraction grating interferometer based on chirped semiconductor laser is introduced. ± 1 order diffracted waves from the laser and the grating are combined, and the light beat is generated due to the optical path difference. The displacement of the grating can be measured by measuring the phase shift of the beat signal. A symmetrical differential optical path, which overcomes the influence of laser wavelength shift and air refractive index change, is designed so that the method reaches the practical level and the resolution reaches nanometer level. In addition, the experimental conditions applied to the contact interferometer are also introduced.
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