【摘 要】
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A solid phase crystallizing method has been developed to grow a Si crystal at tem-peratures as low as 550℃. Using this method, a high-qua1ity thin-film polycry
【出 处】
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Plasma Science & Technology
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A solid phase crystallizing method has been developed to grow a Si crystal at tem-peratures as low as 550℃. Using this method, a high-qua1ity thin-film polycrystalline silicon(Poly-Si ) was obtained. The largest grain size, examined with X-ray diffraction spectroscopy andscanning electron microscopy images of recrystallized samples, is approximately 1μm for substratetemperature at 300℃ and annealed at 550℃ for 3 hours.
The largest grain size has been developed to a Si crystal at tem-peratures as low as 550 ° C. Using this method, a high-quaity thin-film polycrystalline silicon (Poly-Si) was obtained. with X-ray diffraction spectroscopy and scanning electron microscopy images of recrystallized samples, approximately 1 μm for substrate temperature at 300 ° C and annealed at 550 ° C for 3 hours.
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