【摘 要】
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在 WKB近似的理论框架下 ,提出了一个 MOS器件中栅介质层直接隧穿电流的模型 .在这个模型中 ,空穴量子化采用了一种改进的单带有效质量近似方法 ,这种方法考虑了价带的混合效
【机 构】
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新加坡国立大学电子与计算机工程系硅纳米器件实验室,新加坡国立大学电子与计算机工程系硅纳米器件实验室,特许半导体制造有限公司 新加坡119260,新加坡119260,新加坡738406
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在 WKB近似的理论框架下 ,提出了一个 MOS器件中栅介质层直接隧穿电流的模型 .在这个模型中 ,空穴量子化采用了一种改进的单带有效质量近似方法 ,这种方法考虑了价带的混合效应 .通过与试验结果的对比 ,证明了这个模型可以适用于 CMOS器件中电子和空穴的隧穿电流 .还研究了介质层能隙中的色散对隧穿电流的影响 .这个模型还可以进一步延伸到对未来高介电常数栅介质层中隧穿电流的研究
In the framework of WKB approximation, a model of direct tunneling current through the gate dielectric layer in a MOS device is proposed, in which an improved one-band effective mass approximation method is used for hole quantization. This method considers And the valence band mixing effect.The experimental results show that this model can be applied to the tunneling current of electrons and holes in CMOS devices.It is also studied the influence of the dispersion in the dielectric layer gap on the tunneling current. This model can be further extended to the tunneling current in high dielectric constant gate dielectric layers in the future
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