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采用＂组合激光溅射制膜技术＂,制备了高质量（La1-xCax）VO3（0≤x≤1）成分梯度薄膜。采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了（La1-xCax）VO3（0≤x≤1）成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构。在0≤x≤1范围内,（La1-xCax）VO3形成了固溶体。800℃生长的LaVO3薄膜具有最大的功率因数（α）值0.6μW/cm K2。V离子化学价对LaVO3的热电性能影响很大,当它由＋3向＋2变化时,可能获得良好的热电性能。