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讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法，即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法，并提出了优化的N的取值方案。该方案充分考虑了光刻系统参数对N的取值影响。实验结果证明，采用新的N取值方案的近似算法是一种高精度的算法。
基于特征函数的空间点光强的快速算法
【摘 要】
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讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法，即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法，并提出了优化的N的取值方案。该
【机 构】
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浙江大学电气工程学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2007年1期
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